日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導(dǎo)率 WATMASS MPH 100M 特點(diǎn)介紹

■低輻射/高導(dǎo)熱率0.2%BeCu合金離子源法蘭，減少燈絲熱量的影響，實(shí)現(xiàn)超低氣體排放RGA，可在10 -10Pa范圍內(nèi)進(jìn)行氣體分析

■Ptlr合金柵+強(qiáng)電子轟擊脫氣通過這種機(jī)制，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，氫氣和ESD的偽峰值降低到1/1000以下。

■所有組件均在電爐中拆卸和脫氣。

日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導(dǎo)率 WATMASS MPH 100M 規(guī)格參數(shù)

當(dāng)使用閥門關(guān)閉并且不使用排氣泵時(shí)， WATMASS 可以保持 10 -7 Pa的真空長達(dá)一年。這意味著即使燈絲打開，從傳感器釋放的氣體也小于質(zhì)量分析中因電離（泵送作用）而損失的氣體量。通過大幅降低氣體排放，我們實(shí)現(xiàn)了迄今為止不可想象的新氣體分析應(yīng)用。

　通過將 WATMASS 與由 0.2%BeCu 合金（一種具有低輻射和高熱導(dǎo)率的低氣體排放材料）制成的測(cè)量系統(tǒng)相結(jié)合，可以通過簡單的樣品加熱機(jī)制進(jìn)行各種新的氣體分析。換句話說，由于腔室和 RGA 不吸收從加熱機(jī)構(gòu)發(fā)出的紅外輻射，因此不存在熱擾動(dòng)，并且可以進(jìn)行真實(shí)的氣體分析。另外，通過在排氣泵和腔室之間連接金屬閥門，并在腔室排氣后關(guān)閉閥門以將其密封，可以進(jìn)行超痕量氣體分析。