日本HORIBA崛場半導(dǎo)體壓力測量隔膜式真空計
日本HORIBA崛場半導(dǎo)體壓力測量隔膜式真空計

過程中的壓力測量是半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池板、硬盤、涂層等眾多行業(yè)中的技術(shù)。電容式壓力計通過測量稱為隔膜的隔離膜兩側(cè)壓力差所產(chǎn)生的位移量，將其轉(zhuǎn)換為與對電極之間的靜電容量來換算壓力。與其他壓力測量方法相比，電容式壓力計具有以下特點(diǎn)。

• 絕對壓力測量

• 高精度·高穩(wěn)定性

• 不依賴氣體種類的測量

• 自帶溫控型最小級別

• 獨(dú)特的電極結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高精度與高穩(wěn)定性

• 采用SUS316L作為包含隔膜在內(nèi)的接觸氣體部件材料

• 可選擇非加熱、55℃保溫、100℃保溫三種模式。

• 一鍵重啟Re Zero

• 供電電源支持±15VDC、24VDC

• 符合CE、RoHS標(biāo)準(zhǔn)

VG-200S

電容式壓力計 膜片式真空計

過程中的壓力測量是半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池板、硬盤、涂層等眾多行業(yè)中的技術(shù)。電容式壓力計通過測量稱為隔膜的隔離膜兩側(cè)壓力差所產(chǎn)生的位移量，將其轉(zhuǎn)換為與對電極之間的靜電容量來換算壓力。與其他壓力測量方法相比，電容式壓力計具有以下特點(diǎn)。

• 絕對壓力測量

• 高精度·高穩(wěn)定性

• 不依賴氣體種類的測量
   

HORIBA的電容式真空計VG-200S是自溫度調(diào)節(jié)型中最小級別的隔膜式真空計。通過獨(dú)特的電極結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了高精度、高穩(wěn)定性。