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產(chǎn)品展示/ Product display

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便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀

便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀
XPS-7II是日本新宇宙(NEW COSMOS)電機株式會社開發(fā)的便攜式半導體材料氣體檢測儀,采用傳感器單元更換方式,能夠檢測多種半導體制造過程中使用的氣體。該設備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)了世界小尺寸,特別適用于NF?(三氟化氮)等半導體材料氣體的泄漏檢測。

  • 產(chǎn)品型號:XPS-7II
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-11-18
  • 訪  問  量:100
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詳細介紹

便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀
便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀

XPS-7II是日本新宇宙(NEW COSMOS)電機株式會社開發(fā)的便攜式半導體材料氣體檢測儀,采用傳感器單元更換方式,能夠檢測多種半導體制造過程中使用的氣體。該設備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)了世界小尺寸,特別適用于NF?(三氟化氮)等半導體材料氣體的泄漏檢測。

核心特點

傳感器單元更換系統(tǒng)
  • 現(xiàn)場可更換:傳感器單元可在使用現(xiàn)場輕松更換
  • 多氣體檢測:一臺設備通過更換傳感器單元可檢測多種氣體
  • 免校準設計:傳感器單元更換后無需校準,節(jié)省維護時間和成本
世界小尺寸
  • 超緊湊設計:在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)世界小尺寸
  • 輕量化:約1.3kg重量,便于攜帶和操作
  • NF?檢測:作為便攜式NF?檢測儀,具有業(yè)界的緊湊性
智能報警系統(tǒng)
  • 漸進式報警:報警音隨氣體濃度變化而變化,從緩慢斷續(xù)音逐漸加快到連續(xù)音
  • 高濃度報警:高濃度時發(fā)出連續(xù)音報警
  • 多重顯示:LCD閃爍、紅色報警燈閃爍等多重報警方式
國際認證
  • CE標志:符合歐洲CE規(guī)格要求

技術規(guī)格詳解

項目規(guī)格
檢測對象半導體材料氣體
檢測原理定電位電解式
采樣方式自動吸引式
檢測范圍根據(jù)規(guī)格而定
報警設定值根據(jù)規(guī)格而定
報警方式蜂鳴器、紅色LED閃爍、LCD閃爍顯示
響應時間60秒以內(nèi)(60%響應)
尺寸W62×H150×D128mm(不含突起部分)
重量約1.3kg
工作溫度范圍0℃~+40℃
連續(xù)使用時間12小時以上(NF?傳感器單元使用8小時以上)※堿性干電池、20℃、無報警時

主要應用領域

半導體制造
  • 半導體工廠中半導體材料氣體的泄漏檢測
  • 化學氣相沉積(CVD)工藝氣體監(jiān)測
  • 刻蝕工藝氣體檢測
  • 離子注入工藝氣體監(jiān)測
典型檢測氣體
  • NF?(三氟化氮):主要用于CVD腔室清洗
  • SiH?(硅烷):用于硅膜沉積
  • PH?(磷化氫):用于摻雜
  • AsH?(砷化氫):用于摻雜
  • B?H?:用于摻雜
  • WF?(六氟化鎢):用于鎢膜沉積


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