日本nittoseiko半導(dǎo)體硅晶圓測量電阻率計(jì)
日本nittoseiko半導(dǎo)體硅晶圓測量電阻率計(jì)

1. 雙模式一體
• 低阻區(qū) 10??–10? Ω：采用恒流四探針法（JIS K 7194），標(biāo)配 ASR 探頭，可測導(dǎo)電塑料、ITO 薄膜、導(dǎo)電油墨/漿料、金屬鍍層等 。
• 高阻區(qū) 103–101? Ω：切換恒壓雙環(huán)電極法（JIS K 6911），選配 URS/UR 系列探頭，可測防靜電薄膜、工程塑料、涂料、陶瓷等

  ?！?用戶無需購買兩臺儀器即可實(shí)現(xiàn)“Ω 級到 TΩ 級"連續(xù)測試。
2. 超寬電壓與掃描功能
• 1 V–1000 V 共 29 檔施加電壓，內(nèi)置“自動(dòng)電壓掃描"模式，可一次性繪制電阻-電壓曲線，便于研究材料的非線性或擊穿特性

  。
3. 一鍵全自動(dòng)測量
• 7.5 英寸彩色觸控屏，按“START"后自動(dòng)選擇電流/電壓、極性反轉(zhuǎn)、穩(wěn)定判定、保持?jǐn)?shù)據(jù)并停止，支持 Timer/Auto-hold 兩種定時(shí)模式

  。
4. 硅片專用模式
• 改變電流極性并計(jì)算平均值，可扣除熱電勢，對硅晶圓、鍺等半導(dǎo)體晶片進(jìn)行低接觸誤差測量

  。
5. 探頭系列豐富
• 低阻側(cè)：ASR、LSR、ESR、PSR、QR 等 9 種探針，針距 1.5–10 mm，適應(yīng)薄膜、軟材、小樣品或曲面

  。
• 高阻側(cè)：URS、UR-SS、UR-100、UA 及 J-Box X 型雙環(huán)電極，保證 101? Ω 量級穩(wěn)定測量

  。
6. 數(shù)據(jù)管理與追溯
• 機(jī)內(nèi) 2 000 組數(shù)據(jù)可屏幕統(tǒng)計(jì)（最大/最小/平均/σ）；
• USB 存儲(chǔ)器直接導(dǎo)出 CSV，也可配數(shù)據(jù)記錄器軟件實(shí)時(shí)上傳 PC，便于 SPC 或報(bào)告生成

  。
7. 內(nèi)置開關(guān)盒（Switching Box）
• 測體積電阻率時(shí)無需外購切換盒，主機(jī)已集成繼電器切換，配 UR 探頭即可一鍵完成“表面-體積"切換

  。
8. 精度與分辨率
• 低阻段：±(0.5 % + 3 dgt) @ 10?2–10? Ω；
• 高阻段：±2 % @ 10?–1013 Ω（23 ℃±5 ℃，45–65 %RH）

  。
9. 電源與連續(xù)運(yùn)行
• AC 85–264 V 全球電壓；
• 可選 Ni-MH 電池包，現(xiàn)場無電源亦可半日以上連續(xù)運(yùn)行

  。
10. 典型應(yīng)用
• 導(dǎo)電/防靜電薄膜、包裝材、EMI 屏蔽材；
• 鋰離子電池隔膜、導(dǎo)電膠、碳紙；
• 硅片、化合物半導(dǎo)體、ITO/金屬網(wǎng)格玻璃；
• 汽車/電子部件的靜電管理與失效分析