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日本RION理音SOG液體顆粒計數(shù)器

日本RION理音SOG液體顆粒計數(shù)器
0.15 µm 起，適用于光刻膠（Photoresist）、SOG（Spin On Glass）等高純液體
粒徑通道：0.15 – 0.5 µm 范圍內(nèi) 10 檔；出廠默認 4 檔（0.15 / 0.2 / 0.3 / ≥0.5 µm）

  • 產(chǎn)品型號：KS-41A
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-11-25
  • 訪  問  量：89
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聯(lián)系電話：13823182047

詳細介紹

日本RION理音SOG液體顆粒計數(shù)器
日本RION理音SOG液體顆粒計數(shù)器

KS-41A 光阻液 / SOG 液體顆粒計數(shù)器
（側(cè)向散射激光式）

1. 核心能力

  • 檢測粒徑：0.15 µm 起，適用于光刻膠（Photoresist）、SOG（Spin On Glass）等高純液體
  • 粒徑通道：0.15 – 0.5 µm 范圍內(nèi) 10 檔；出廠默認 4 檔（0.15 / 0.2 / 0.3 / ≥0.5 µm）
  • 濃度上限：1,200 顆/mL（計數(shù)損失 ≤5%）
  • 采樣流量：10 mL/min

2. 系統(tǒng)特點

  • 光學原理：側(cè)向散射 + 830 nm 半導體激光（200 mW）
  • 接液材質(zhì)：合成石英 + PFA，耐腐蝕、低析出
  • 多種模式：Batch 采樣 / 在線（In-line） / 多點監(jiān)控（Multi-point）
  • 法規(guī)符合：CE 標志，可直接連接多點監(jiān)控系統(tǒng)

3. 硬件規(guī)格

項目參數(shù)
供電DC 12 V（由主機 KE-40B1 提供）
尺寸160 H × 300 W × 251 D mm（不含突起）
重量約 7.5 kg

4. 應用場景

  • 晶圓廠光刻膠循環(huán)管路粒子監(jiān)測
  • SOG 涂布前顆粒管控
  • 化學品供應商批次檢驗
  • 多點并行監(jiān)控（最多 8 通道）


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