日本csc-biz晶圓潔凈室灰塵顆粒檢查UV光源
日本csc-biz晶圓潔凈室灰塵顆粒檢查UV光源

1. 潔凈室出身
• 全鋁陽極 + 耐酒精涂層，無風(fēng)扇自然冷卻，0.3 μm 顆粒測試 ≤ 10 個/ft3，可直接用在 Class 1000 以下區(qū)域
• 電源一體內(nèi)置，無外部鎮(zhèn)流器，可通過傳遞窗
2. 雙波長一鍵切換
• 365 nm（UV-A 高功率）／ 254 nm（UV-C 殺菌）同燈殼，撥碼即可切換，無需換燈管
• 365 nm 照度 7000 μW/cm2＠100 mm，5 μm 熒光纖維 1 秒顯形
• 254 nm 照度 3500 μW/cm2＠100 mm，30 s 表面殺菌 1 log 降
3. 低臭氧 & 長壽命
• 低臭氧燈管，照射后室內(nèi) O? < 0.01 ppm，無需排風(fēng)等待
• 燈管壽命 365 nm 約 3000 h，254 nm 約 2000 h，用戶 5 秒可自換
4. 高照度小光束
• 反射罩，出光口 50 × 75 mm，中心光斑 15 mm 內(nèi)照度均勻性 ±5 %
• 適合“點對點"檢查晶圓邊緣、COF 引線、Micro-LED 芯片局部污染
5. 無級調(diào)光 & 定時
• 10–100 % 旋鈕調(diào)光，帶 30 min 定時熄滅，防止誤操作過曝
• 也可外接腳踏開關(guān)，雙手拿樣品即可點亮
6. 多種安裝
• 手提、桌面、懸臂、導(dǎo)軌四種配件；重量 0.9 kg，單手 360 ° 任意停
• 可選耐熱外套，燈表溫升 < 10 ℃，連續(xù) 24 h 點亮不擾層流
7. 典型用途
• 365 nm 模式：激發(fā)熒光纖維、硅油、膠水殘留 → 即時發(fā)現(xiàn) 5 μm 級 killer particle
• 254 nm 模式：FOUP、治具、包材表面快速滅菌，替代酒精擦拭
• 清潔驗證：清洗后→365 nm 照→無熒光即判定“有機(jī)物已去除"