韓國(guó)PlayTG高精度全金屬高純度氣體過濾器
韓國(guó)PlayTG高精度全金屬高純度氣體過濾器

• 產(chǎn)品名稱: BIKAL™ GFT系列高純度金屬氣體過濾器
• 產(chǎn)品類型: 全金屬氣體過濾器
• 應(yīng)用領(lǐng)域: 高純度氣體系統(tǒng)，主要用于半導(dǎo)體制造工藝

主要特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

1. 全金屬氣體過濾器 - 采用全金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
2. 耐腐蝕性和兼容性 - 優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和材料兼容性
3. 寬流量特性 - 適應(yīng)不同流量需求
4. 低壓降高流量性能 - 在保證過濾效果的同時(shí)實(shí)現(xiàn)高流量、低壓降

技術(shù)規(guī)格

材料規(guī)格

• 過濾元件: 316L不銹鋼
• 外殼: 電解拋光316L不銹鋼

操作條件

• 入口壓力: 20MPa (2900PSI) @ 20℃
• 操作溫度: 460℃

過濾性能

• 去除精度: ≥0.0025μm（2.5納米）
• 顆粒截留率: 99.9999999%（9 LRV）- 可去除所有顆粒
• 氦氣泄漏率: 1×10??cc/sec
• 內(nèi)表面光潔度: ≤5.00 μin Ra

產(chǎn)品型號(hào)與配置

• GFTV4D25L84, GFTV4D25L128
• GFTV4D38L84, GFTV4D38L108
• GFTV8D38L86, GFTV8D38L110

• GFTSW6D25L75, GFTSW6D25L120