韓國(guó)PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器
韓國(guó)PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器

• 產(chǎn)品名稱：BIKAL™ DF系列高純度氣體擴(kuò)散器
• 產(chǎn)品類型：氣體擴(kuò)散器（Gas Diffuser）
• 應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體和顯示制造工藝中的氣體輸送系統(tǒng)

主要功能與優(yōu)勢(shì)

1. 快速排氣擴(kuò)散 – 縮短腔體抽真空/通氣時(shí)間，提高產(chǎn)能
2. 高純度設(shè)計(jì) – 所有潤(rùn)濕表面電解拋光，顆粒析出極低
3. 低壓損 – 特殊流道設(shè)計(jì)，保證大流量同時(shí)壓降最小
4. 結(jié)構(gòu)緊湊 – 可直接安裝在氣柜或腔體入口，節(jié)省空間
5. 高可靠性 – 全金屬密封，氦檢漏 ≤1×10?? cc/sec

技術(shù)規(guī)格（公稱值）

典型型號(hào)與尺寸（單位：mm）

應(yīng)用場(chǎng)景

• 晶圓傳輸腔體（Loadlock）快速 vent
• 工藝腔體初始充氮或清潔干燥空氣
• AMHS 設(shè)備內(nèi)微環(huán)境氣體均衡
• 任何需要“高速、低顆粒、低波動(dòng)"擴(kuò)散的超高純氣體節(jié)點(diǎn)

DF 系列擴(kuò)散器通過(guò)多孔金屬燒結(jié)濾芯將高速氣流瞬間分散成低速、均勻、低湍流的氣體云，從而顯著降低顆粒產(chǎn)生和壓力沖擊，是半導(dǎo)體廠高產(chǎn)出、低缺陷率的關(guān)鍵部件之一。