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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本k-matsumi半導(dǎo)體DMA納米粒子測(cè)量裝置

日本k-matsumi半導(dǎo)體DMA納米粒子測(cè)量裝置
氣溶膠先經(jīng)中和器帶已知電荷分布 → 進(jìn)入同軸圓柱形 DMA → 僅特定電遷移直徑粒子通過(guò)狹縫。
濃度計(jì)數(shù)
出 DMA 的 mono-mobile 粒子由 CNC(或 CPC)計(jì)數(shù) → 掃描電壓即可獲得 10 – 1000 nm 范圍內(nèi)的 粒徑分布(dN/dlogDp)。
結(jié)果輸出
自動(dòng)生成 個(gè)數(shù)濃度、表面積、體積、質(zhì)量分布 及 平均粒徑、眾數(shù)、幾

  • 產(chǎn)品型號(hào):DMA-20
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-12-29
  • 訪  問(wèn)  量:21
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詳細(xì)介紹

日本k-matsumi半導(dǎo)體DMA納米粒子測(cè)量裝置
日本k-matsumi半導(dǎo)體DMA納米粒子測(cè)量裝置

測(cè)量原理

  1. 電遷移分類
    氣溶膠先經(jīng)中和器帶已知電荷分布 → 進(jìn)入同軸圓柱形 DMA → 僅特定電遷移直徑粒子通過(guò)狹縫。
  2. 濃度計(jì)數(shù)
    出 DMA 的 mono-mobile 粒子由 CNC(或 CPC)計(jì)數(shù) → 掃描電壓即可獲得 10 – 1000 nm 范圍內(nèi)的 粒徑分布(dN/dlogDp)。
  3. 結(jié)果輸出
    自動(dòng)生成 個(gè)數(shù)濃度、表面積、體積、質(zhì)量分布平均粒徑、眾數(shù)、幾何標(biāo)準(zhǔn)偏差。

3. 關(guān)鍵規(guī)格

項(xiàng)目規(guī)格
粒徑范圍10 nm – 1000 nm(單級(jí) DMA)
分辨率64 – 256 通道 / 十倍程可選
濃度上限10? 粒子/cm3(與稀釋器聯(lián)用可擴(kuò)至 10?)
采樣流量0.3 – 2 L/min 自動(dòng)恒流
電壓掃描10 – 10 000 V,線性或?qū)?shù)掃描 ≤ 60 s
重現(xiàn)性計(jì)數(shù)濃度 ±5 %,粒徑 ±2 %
數(shù)據(jù)接口USB-C + 模擬 0 – 10 V 輸出;附日文/英文軟件

4. 系統(tǒng)構(gòu)成

  • 中和器:Kr-85 或 X-ray 型(低維護(hù))
  • DMA 主機(jī):不銹鋼電極,可拆式狹縫,便于清洗
  • CNC/CPC:內(nèi)置光學(xué)計(jì)數(shù)器,可擴(kuò)展 2.5 nm 下限
  • 稀釋器(可選):旋轉(zhuǎn)盤式,稀釋比 1:10 – 1:1000
  • 軟件:Windows 11 對(duì)應(yīng),一鍵生成 CSV、ASCII、BMP 報(bào)告

5. 典型應(yīng)用

領(lǐng)域測(cè)量對(duì)象
半導(dǎo)體CMP 研磨液、晶圓清洗液中的納米顆粒;潔凈室氣溶膠監(jiān)控
汽車/電池發(fā)動(dòng)機(jī)排氣、EV 電池干法電極粉塵
醫(yī)藥/化妝品噴霧劑、吸入粉體、脂質(zhì)體粒徑
環(huán)境大氣納米顆粒、煙道 PM1.0、超細(xì)顆粒物源解析
功能材料金屬納米膠體、量子點(diǎn)、陶瓷漿料

6. 特色與優(yōu)勢(shì)

  • 狹縫可拆:30 s 完成維護(hù),避免交叉污染
  • 低死體積:響應(yīng)時(shí)間 < 3 s,適合在線快速切換
  • 寬濃度兼容:自帶雙稀釋器自動(dòng)切換,無(wú)需手動(dòng)稀釋


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