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日本shuwaind秀和 晶圓精密拋光鉆石研磨液

日本shuwaind秀和 晶圓精密拋光鉆石研磨液
Shuwa Industrial 的鉆石拋光液（Diamond Polishing Liquid）主要用于半導(dǎo)體晶圓的精密拋光工藝，適用于硅（Si）、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等材料，能夠?qū)崿F(xiàn)鏡面級(jí)拋光效果，表面粗糙度 Ra ≤ 0.01 µm 。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
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  • 更新時(shí)間：2026-01-07
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日本shuwaind秀和 晶圓精密拋光鉆石研磨液

日本shuwaind秀和 晶圓精密拋光鉆石研磨液

Shuwa Industrial 的鉆石拋光液（Diamond Polishing Liquid）主要用于半導(dǎo)體晶圓的精密拋光工藝，適用于硅（Si）、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等材料，能夠?qū)崿F(xiàn)鏡面級(jí)拋光效果，表面粗糙度 Ra ≤ 0.01 µm 。
該產(chǎn)品通常與拋光墊（Polishing Pad）配合使用，通過(guò)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）工藝去除晶圓表面的氧化層、介質(zhì)層（ILD）和金屬層（如Cu、W），確保表面平整度和低缺陷率，從而提高芯片的良品率和性能 。
此外，Shuwa Industrial 的鉆石拋光液支持多種納米級(jí)粒徑選擇，適用于不同材料和工藝需求，特別是在第三代半導(dǎo)體材料（如SiC和GaN）的超精密加工中表現(xiàn)好


Render金剛石研磨液長(zhǎng)期以來(lái)一直用于陶瓷和超硬金屬的高精度、高效率研磨加工。我們可根據(jù)客戶的需求，定制生產(chǎn)原創(chuàng)的研磨劑?金剛石研磨液。
■ 特點(diǎn)
展現(xiàn)原創(chuàng)性
我們可根據(jù)客戶的各種需求，定制生產(chǎn)原創(chuàng)的金剛石研磨液。歡迎隨時(shí)咨詢。
值得信賴的穩(wěn)定性
通過(guò)將嚴(yán)選出的金剛石以獨(dú)特方式與研磨液混合，提高了分散效果，使供給到研磨盤(pán)上的金剛石量始終保持穩(wěn)定。
優(yōu)異的潤(rùn)滑性
潤(rùn)滑性能出色，可實(shí)現(xiàn)令人滿意的鏡面精度。
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通過(guò)類型、粒度等級(jí)、金剛石種類、集中度四種組合，為您定制原創(chuàng)研磨液。請(qǐng)從A～D中各選一種。
A. 類型
  • IRIS（水溶型）
    適用于各類化合物半導(dǎo)體晶圓，分散性優(yōu)異，可實(shí)現(xiàn)低損傷鏡面加工。
  • SP-1107（水溶型）
    在陶瓷、GaN、SiC 等方面擁有豐富實(shí)績(jī)，兼顧面精度與研磨速率的研磨液。
  • TE-0531（油溶型）
    新型油劑，分散性更佳。
    以上為典型代表，此外還備有20多種型號(hào)供不同用途選擇。
B. 粒度等級(jí)
C. 金剛石種類
  • 單晶
  • 多晶
D. 集中度
  • 常規(guī)（Regular）
  • 高濃度（Strong）
  • 超高濃度（Super Strong）


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