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SiC晶圓平面研磨 多孔玻璃化結合劑砂輪

SiC晶圓平面研磨 多孔玻璃化結合劑砂輪
東京鉆石的多孔玻璃化結合劑砂輪“Vega“是通過獨特的砂輪組織控制技術開發(fā)的新型結合劑砂輪。特別在SiC晶圓平面研磨的粗磨加工中，同時實現(xiàn)了加工性能和砂輪壽命。

  • 產品型號：VEGA
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2026-01-15
  • 訪  問  量：60
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聯(lián)系電話：13823182047

詳細介紹

SiC晶圓平面研磨 多孔玻璃化結合劑砂輪

SiC晶圓平面研磨 多孔玻璃化結合劑砂輪

在低碳社會追求省電力的趨勢下，SiC晶圓作為更高效的功率器件基板備受關注，預期將有高增長。然而，SiC晶圓作為高硬度難加工材料而聞名，存在加工時間長、加工用砂輪（鉆石砂輪）磨損嚴重等問題。
因此，SiC晶圓的加工成本相比傳統(tǒng)硅晶圓非常高，特別是在去除量大的晶圓平面研磨粗加工工序中，需要具有穩(wěn)定加工性能的高壽命鉆石砂輪。



多孔玻璃化結合劑砂輪

東京鉆石的多孔玻璃化結合劑砂輪"Vega"是通過獨特的砂輪組織控制技術開發(fā)的新型結合劑砂輪。特別在SiC晶圓平面研磨的粗磨加工中，同時實現(xiàn)了加工性能和砂輪壽命。
  • 6英寸SiC晶圓也可整加工
  • 優(yōu)異的耐磨性，增加每片砂輪可加工的晶圓數量
  • 有助于降低晶圓加工成本

產品特點

  1. 壽命大幅提升（砂輪磨損率15%以下）
  2. 切削速度0.6μm/sec下實現(xiàn)穩(wěn)定加工性能
  3. 提供重研磨性和重壽命兩種類型
  4. 在晶錠粗磨工序（Si面）和器件工序中的晶圓背面研磨（C面）有實際應用業(yè)績
  5. 研磨后表面粗糙度 Ra17nm-20nm

研削盤　　　　　：　HRG300 (東京精密)

粒度　　　　　?。骸D2000

ホイールサイズ?。骸?46D-2.8W-32P

ホイール回転數?。骸?,000rpm~2,500rpm

切込速度　　　　：　0.6μm/sec

切込量　　　　?。骸?50μm

被削材　　　　?。骸?inch SiC Wafer(4H-N)



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