日本jeol實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式自動(dòng)掃描電子顯微鏡
日本jeol實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式自動(dòng)掃描電子顯微鏡
新開(kāi)發(fā)的樣品臺(tái)實(shí)現(xiàn)5軸全電機(jī)驅(qū)動(dòng),使用更加安心且快速。
此外,新搭載的"Simple SEM"功能,只需選擇視野即可自動(dòng)獲取觀察和分析數(shù)據(jù)。JSM-IT210是緊湊型、可實(shí)現(xiàn)無(wú)人操作的新一代SEM。
主要特點(diǎn)
1. 樣品交換導(dǎo)航功能 - "放入樣品,無(wú)需猶豫即可觀察"
三步操作流程:
按照樣品交換導(dǎo)航插入樣品
利用真空排氣時(shí)間進(jìn)行觀察準(zhǔn)備
自動(dòng)開(kāi)始觀察
Zeromag功能 - "光學(xué)圖像放大即為SEM圖像"
Zeromag是樣品臺(tái)圖形、光學(xué)圖像與SEM圖像聯(lián)動(dòng)的功能。
在樣品臺(tái)上設(shè)置多個(gè)樣品或觀察特定部位時(shí),尋找視野變得更加容易。
*需要樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)(可選)進(jìn)行光學(xué)圖像拍攝
3. Live Analysis功能 - "觀察中隨時(shí)進(jìn)行元素分析"
Live Analysis是持續(xù)顯示特征X射線光譜和元素圖的功能。
在觀察的同時(shí)可以尋找目標(biāo)元素。
*適用于A(分析)/LA(低真空&分析)型號(hào)
4. Simple SEM功能 - "多樣化的自動(dòng)測(cè)量"
Simple SEM是只需設(shè)置想要觀察的視野,即可輕松進(jìn)行自動(dòng)拍攝的功能。
自動(dòng)測(cè)量支持功能:
5. 大口徑EDS系統(tǒng) - "分析更快速"
標(biāo)配60 mm2大口徑EDS(適用于A/LA型號(hào))
性能優(yōu)勢(shì):
分析速度快:短時(shí)間內(nèi)可獲得與傳統(tǒng)EDS同等質(zhì)量的光譜,多點(diǎn)分析更高效
熱敏感樣品安心:傳統(tǒng)EDS需要大電流,可能造成熱損傷;60 mm2 EDS可在降低電流下進(jìn)行元素分析,抑制熱損傷
短時(shí)間清晰元素圖:即使測(cè)量時(shí)間僅1分鐘,也能獲得清晰的元素圖
實(shí)測(cè)案例:
樣品:石鐵隕石
加速電壓:15 kV
測(cè)量時(shí)間:1分鐘
結(jié)果:元素圖清晰可辨
技術(shù)亮點(diǎn)
緊湊型設(shè)計(jì)
JEOL緊湊型臺(tái)式SEM
節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間
適合各種工作環(huán)境
5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
智能化操作
導(dǎo)航式操作流程
自動(dòng)功能減少人為誤差
適合新手和經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶
集成分析功能
觀察與分析一體化
實(shí)時(shí)元素分析
提高工作效率
應(yīng)用領(lǐng)域
材料科學(xué):金屬、陶瓷、復(fù)合材料表面形貌觀察
生命科學(xué):生物樣品、細(xì)胞結(jié)構(gòu)觀察
半導(dǎo)體工業(yè):芯片、器件表面缺陷檢測(cè)
納米技術(shù):納米材料形貌表征
失效分析:產(chǎn)品表面缺陷和污染分析
地質(zhì)礦物:巖石、礦物樣品成分分析
質(zhì)量控制:工業(yè)產(chǎn)品表面質(zhì)量檢測(cè)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
操作簡(jiǎn)便:導(dǎo)航式操作,降低學(xué)習(xí)成本
緊湊設(shè)計(jì):節(jié)省空間,適合各種實(shí)驗(yàn)室環(huán)境
自動(dòng)化程度高:支持無(wú)人值守操作
分析集成:觀察與元素分析同步進(jìn)行
高精度樣品臺(tái):5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng),定位精準(zhǔn)
大口徑EDS:標(biāo)配60 mm2 EDS,分析更高效
多視野測(cè)量:自動(dòng)連續(xù)測(cè)量多個(gè)區(qū)域
圖像聯(lián)動(dòng):光學(xué)圖像與SEM圖像無(wú)縫切換