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日本tysei大成蝕刻液光刻膠剝離液脫氣裝置半導(dǎo)體/FPD制造清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液的脫氣分析與理化領(lǐng)域藥液、有機(jī)溶劑、酸、堿溶液的脫氣各行業(yè)制造工藝藥液、清洗液、涂覆液、處理液的脫氣
產(chǎn)品型號(hào)：TY-55010/TY-55100廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2026-01-29訪 問(wèn) 量：6
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日本tysei大成蝕刻液光刻膠剝離液脫氣裝置
日本tysei大成蝕刻液光刻膠剝離液脫氣裝置
| 領(lǐng)域 | 應(yīng)用 |
|---|---|
| 半導(dǎo)體/FPD制造 | 清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液的脫氣 |
| 分析與理化領(lǐng)域 | 藥液、有機(jī)溶劑、酸、堿溶液的脫氣 |
| 各行業(yè)制造工藝 | 藥液、清洗液、涂覆液、處理液的脫氣 |
| 外形尺寸 | 型號(hào) | 類(lèi)型 | 流量范圍 |
|---|---|---|---|
| Φ120×H120mm | TY-55010 | 低壓損型 | ≤20 ml/min |
| TY-55025 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | ≤50 ml/min | |
| Φ120×H160mm | TY-55080 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | ≤150 ml/min |
| TY-55100 | 低壓損型 | ≤250 ml/min | |
| Φ120×H240mm | TY-55250 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | ≤500 ml/min |
| 特征 | 說(shuō)明 |
|---|---|
| 全氟樹(shù)脂接液部 | 脫氣膜、端部、接合部全部采用PFA材質(zhì)，具有優(yōu)異的耐腐蝕性 |
| 圓柱形不銹鋼外殼 | Φ120mm標(biāo)準(zhǔn)直徑，提供3種高度規(guī)格（120/160/240mm） |
| 雙類(lèi)型設(shè)計(jì) | 標(biāo)準(zhǔn)型：高膜容積，大流量脫氣 低壓損型：低流阻設(shè)計(jì)，適合小流量精密應(yīng)用 |
| 統(tǒng)一接口規(guī)格 | 通液口：FAINALLOCK 1/4" 真空口：快插接頭 Φ6 |
| 耐壓耐溫 | 耐壓0.3MPa，使用溫度50℃ |
| 流量覆蓋廣 | 從20ml/min（低壓損型）到500ml/min（大型標(biāo)準(zhǔn)型） |
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