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日本Anelva皮拉尼真空計(jì)耐腐蝕性半導(dǎo)體設(shè)備 M-351PG 該型號(hào)使用Ni絲來(lái)提高耐腐蝕性，并與RIE和CVD等硬工藝設(shè)備兼容。

日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量壓力 M-311HG 這是傳感器真空計(jì)系列的離子計(jì)。離子計(jì)（熱陰極電離真空計(jì)）具有優(yōu)異的重復(fù)性和線性度，可以在較寬的范圍內(nèi)測(cè)量壓力，使其成為優(yōu)秀的真空計(jì)。該傳感器采用經(jīng)過驗(yàn)證的微型儀表（MG-2I 型）。

日本Anelva水晶離子計(jì)真空計(jì)測(cè)量大氣壓范圍 M-336MX 這是一種組合真空計(jì)，使用了在低真空范圍內(nèi)具有出色的再現(xiàn)性和響應(yīng)性的晶體真空計(jì)和在高真空范圍內(nèi)具有長(zhǎng)期記錄的微型 BA 真空計(jì)。這個(gè)單一設(shè)備可以測(cè)量從大氣壓到超高真空的廣泛壓力范圍。

日本Anelva寬量程電離真空計(jì)控制電源測(cè)壓力 M-431HG M-431HG是一款微型真空計(jì)專用真空計(jì)控制電源。

日本Anelva寬量程電離真空計(jì)高精度真空測(cè)量 M-833HG M-833HG 是微型 BA 儀表專用的控制單元。作為選件，還提供支持各種儀表、數(shù)據(jù)輸出等的擴(kuò)展板。通過組合微型 BA 真空計(jì)和 TC 真空計(jì)（可選）并安裝自動(dòng)切換真空計(jì)的自動(dòng)燈絲，可以實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的高精度真空測(cè)量。非常適合安裝高真空至超高真空設(shè)備。

日本Anelva電離真空計(jì)高精度測(cè)量可遠(yuǎn)程控制 M-723HG/M-823HG/M-923HG 這是受歡迎的BA型電離真空計(jì)系列，配備了多種擴(kuò)展板，支持多種真空計(jì)。 標(biāo)準(zhǔn)配備了真空設(shè)備過程控制所需的遠(yuǎn)程控制功能和范圍保持功能。還備有可通過 CC-Link 進(jìn)行通信控制的類型。 M-823HG 高精度涵蓋從大氣壓到高真空的所有壓力。

日本進(jìn)口Anelva電容表真空表高精度測(cè)量壓力 M-342DG 電容式壓力計(jì)“M-342DG”在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片，最大限度地減少了溫度、振動(dòng)和大氣壓力波動(dòng)等外部環(huán)境的影響，并實(shí)現(xiàn)了高精度和穩(wěn)定的隔膜真空壓力測(cè)量。達(dá)到調(diào)零最小頻率的儀表。

日本Anelva冷陰極皮拉尼真空計(jì)高精度測(cè)量 M-361CP 這是一種組合真空計(jì)，結(jié)合了測(cè)量大氣壓至中真空的皮拉尼真空計(jì)和測(cè)量高真空至超高真空的冷陰極真空計(jì)。單個(gè)裝置可以測(cè)量較寬的壓力范圍。 一臺(tái)設(shè)備有兩種用途，有助于降低系統(tǒng)成本和管理負(fù)擔(dān)。